世界最先进EUV光刻机开工！Intel已产3万块晶圆 14A工艺就用它
zhiyongz
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2025-02-26 13:58:51
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快科技2月26日消息，ASML Twinscan EXE:5000 EUV是当今世界上最先进的EUV极紫外光刻机，支持High-NA也就是高孔径，Intel去年抢先拿下了第一台，目前已经在俄勒冈州Fab D1晶圆厂安装部署了两台，正在紧张地研究测试中。Intel资深首席工程师Steve Carson透露，迄今为止，两台EUV光刻机已经生产了3万块晶圆，当然不算很多，但别忘了这只是测试和研究使用的，并非商用量产，足以证明Intel对于新光刻机是多么的重视。Steve Carson还强调，完成同样的工作，新款光刻机可以将曝光次数从3次减少到只需1次，处理步骤也从40多个减少到不足10个，从而大大节省时间和成本。
世界最先进EUV光刻机开工！Intel已产3万块晶圆 14A工艺就用它
Intel曾透露，新光刻机的可靠性是上代的大约两倍，但没有透露具体数据。ASML EXE:5000光刻机单次曝光的分辨率可以做到8nm，比前代Low-NA光刻机的13.5nm提升了多达40％，晶体管密度也提高了2.9倍。当然，Low-AN光刻机也能做到8nm的分辨率，但需要两次曝光，无论时间、成本还是良品率都不够划算。全速率量产的情况下，ASML EXE:5000光刻机每小时可生产400-500块晶圆，而现在只有200块，效率提升100-150％之多。
世界最先进EUV光刻机开工！Intel已产3万块晶圆 14A工艺就用它
世界最先进EUV光刻机开工！Intel已产3万块晶圆 14A工艺就用它
将在今年下半年量产的Intel 18A 1.8nm工艺，仍旧使用现有的Low-NA EUV光刻机，对应产品包括代号Panther Lake的下代酷睿、代号Clearwater Forest的下代至强。二者都已经全功能正常运行，并开展了客户测试。
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